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Substrate Map#

🔒 SubstrateMap.Show

Substrate Map 是一个实体,代表了 SEMI E142 格式(XML 和 Unit Level)中的基板Map。基板可以是晶圆、框架、条片或托盘。

SEMI E142 是一个标准,它提供了一种描述基板上器件布局的方式,用于在半导体制造场所之间报告、存储和传输Substrate Map。这个标准使得各个半导体制造工厂能够准确地了解和处理基板上器件的布局信息。

您可以有各种各样的maps,例如:BinCodeMap, DeviceIdMap, TransferMap, and DeviceDataMap.

Critical Manufacturing MES的这个功能允许您可视化一系列xml格式的Substrate Maps,这是基于对原始 SEMI E142 标准进行的定制所实现的。更多有关信息,请参见CM SEMI E142 模式.

Info

Substrate Maps是Mapping的一部分,而Mapping是Critical Manufacturing的一个可选模块。

为了更好理解Substrate Map实体,以下概念和定义是相关的:

概念 描述
轴方向(参见原点位置) 轴方向定义了轴(X轴和Y轴)数值增加的方向。这些方向可以是:上右、下右、上左和下左。默认值为上右。
框架 Wafer被安装在薄膜框架上,以便进行切割,然后将芯片取下并放置在包装中。
布局 一个二维设备阵列的逻辑和物理尺寸,可以用于分配map。
Map 一个特定布局在基板上的二维数据阵列。
朝向 基板的旋转(0、90、180或270度)。默认值为0。
原点位置 (0,0)坐标所在的位置。可以是左下、右下、左上、右上或中间。默认值为左下角。
面板 一种长方形或方形的基板,在其上制造一组器件。
条片 一种引线框架、板或其它容器,在其上可制造一组装置。
基板 用于沉积、蚀刻、粘贴或其他制备或加工的表面,例子包括晶圆、框架、条状物和托盘。
晶圆 一个圆形基板,用于制作一组设备。

表 1: Substrate Map 概念及描述

将一切捆绑在一起#

E142 Object Model

图形 1: Map 数据 E142 对象模型

步骤顺序#

正确创建和使用Substrate Map的必要步骤是:

  1. 创建一个Substrate Map